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FluxDancer半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是由Oriental Spectra精心打造的高精度測試設(shè)備，專為測量和分析半導(dǎo)體器件的電學(xué)特性而設(shè)計。這款儀器融合了眾多前沿測量技術(shù)，包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開關(guān)矩陣等，使其能夠執(zhí)行電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測量，以及快速脈沖IV測量等多種測試。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2026-03-27訪 問 量：186
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FluxDancer半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是由Oriental Spectra精心打造的高精度測試設(shè)備，專為測量和分析半導(dǎo)體器件的電學(xué)特性而設(shè)計。這款儀器融合了眾多前沿測量技術(shù)，包括電源、電壓表、電流表、LCR表和開關(guān)矩陣等，使其能夠執(zhí)行電流-電壓（IV）和電容-電壓（CV）測量，以及快速脈沖IV測量等多種測試。
FluxDancer的之處在于其對測試精度和分辨率的追求。它不僅能夠提供精確的IV和CV表征，而且廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體研發(fā)、工藝制程開發(fā)、器件可靠性測試和光電器件測試等領(lǐng)域。與傳統(tǒng)的多儀器組合相比，F(xiàn)luxDancer的集成設(shè)計確保了更高的測量精度和分辨率。
主要規(guī)格參數(shù)：
□ 電流-電壓（IV）、電容-電壓（CV）、脈沖IV測試等全面功能；
□ 電流測量分辨率ZUI高0.1 fA，測試精度30 fA；
□ IV-t測試模式，zui快采樣率不低于65 us/點；
□ 支持脈沖模式下的最短脈沖寬度為10 ns；
□ 測試功能：IV、IV-t、PIV (脈沖IV)、Super-PIV (10 ns sampling)CV、阻抗、1/f (100 KHz)、Super-1/f (1 MHz)、Solar cell、FET、BJT、EL等 。
□ 高精度和高分辨率的測量能力；
□ 快速測量和分析，支持多種測量模式；
□ 模塊化設(shè)計，易于升級和擴展：配置＞10個插槽，支持zui大吸收電流至4A；
□ 適用器件、材料，有源/無源元器件等類型的電子器件；
□ 直觀的用戶界面，簡化操作流程；
□ 支持自動化測試和數(shù)據(jù)分析。
Ⅰ-Ⅴ 源測量單元 (SMU)
大功率 SMU：
電壓范圍: ±100 V-200V
直流電流范圍: ±1A
脈沖電流范圍: ±2A±3A
最小電流分辨率: 0.1fA
最小電壓分辨率: 100nV
電流測量量程: 10fA
電壓測量量程分辨率: 0.5uV
直流功率: 20W 或者 40W 可選
zui大脈沖功率: 480W (zui大電壓 160V, zui大電流 3A)
脈沖極限最小寬度: 50 us, 可輸出 50us 脈沖測試
支持四象限測試
支持 2 線或 4 線測試
支持 IV-T 測試模式，zui快采樣率 550ns 每點，數(shù)據(jù)存儲點可以設(shè)置為 10K, 1M, 10M 或 100M
中等功率直流 SMU：
電壓范圍: ±40-±50 V
電流范圍: ±1.5A
最小電流分辨率: 400 pA
最小電壓分辨率: 4uV
電流測量分辨率: 10fA
電壓測量分辨率: 0.5uV
支持四象限測試
支持 2 線或 4 線測試
小功率直流 SMU：
電壓范圍: ±14 V
電流范圍: ±40 mA
最小電流分辨率: 200 nA
最小電壓分辨率: 60 uV
電流測量分辨率: 10fA
電壓測量分辨率: 0.5uV
支持四象限測試
支持 2 線或 4 線測試
支持源表數(shù)量：1-5 可選
前置放大：可配置前置放大，SMU 電流測量分辨率提高至 0.1fA
C-V 多頻電容單元 (CVU)
AC 阻抗測量是 CV, C-f, C-t
1 kHz- 10 MHz 寬范圍，最小頻率分辨率 1mHz
電容測試精度 (介電損耗 D): @1MHz±0.3%, 10pF@1MHz±0.15%, 10pF@100kHz±0.2%
±30 V (60Vpp), 內(nèi)建 DC 偏置范圍可以擴展到 ±210V (420V 差分)
具有 CV, CV 自動測試測量功能
支持 CV, C-t 電容測量掃描方
脈沖式 I-V 超快脈沖測量單元 (PMU)
兩個獨立的高速脈沖 IV 源和測量通道
200 MSa/s, 5 ns 樣點間隔
±40 V(80V p-p), ±800 mA
瞬態(tài)波形捕獲模式
任意波形發(fā)生器，10 ns 可編程分辨
高壓脈沖發(fā)生器單元 (PGU)
兩個高速脈沖電壓源通道
±40 V(80V p-p), ±800 mA
任意波形發(fā)生器，10 ns 可編程分辨率
Ⅰ-Ⅴ/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)
在 IV 源和 CV 之間切換，無需抬起探針
任意資源 CV 測量，無需抬起探針
支持 ±210 V DC 偏置
1n 噪聲測試模塊 (FNU)
速度 8~10s/bias
帶寬 1Hz~100kHz
噪聲基底: <120uA@2Hz
全帶寬下的測量偏差 2%
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